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全自动去磷硅玻璃(PSG)清洗设备返回列表查看更多  

采用德国最新技术工艺制作,具有完善的防腐设计。

适用于【125x125、156x156】硅片去磷硅玻璃清洗,200片/篮、300片/篮、400片/篮。具有3200p/hr的超大产能。

最新的硅片烘干技术,保证硅片干燥后不留水痕。

全程自动控制,可自动配液、补液,工艺槽自动循环,保证工艺药液的均匀。

高速移载机械手,运行更平稳,定位更可靠,保证运行中不产生晃动。

更人性化的操作界面,采用先进触摸屏终端显示,智能化记忆控制,有效提高工作效率。

主要元器件选用国际知名品牌。

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